特長
これまでの導電性試料の観察だけでなく、絶縁物や含水・含油試料まで前処理なしでそのまま観察できます。
二次電子像⇔反射電子像の切替も素早く行えます。
高感度低真空二次電子検出器（UVD）を採用。
電子線と残留ガス分子との衝突によって発生した光を検出することにより、二次電子情報を持った画像を観察することができます。
また、本検出器をコントロールすることにより、電子線照射により発生した光を検出することでCL情報（UVD-CL：CL情報を含んだ画像）を取得することが可能です。
オプション：カメラナビ機能, OP：エネルギー分散型元素分析装置AZtecOne(30mm2), OP：EDX取付キット〔別途:カートリッジフィラメント(10個入り),試料台70Φ,試料台30Φ,カーボン両面テープ12mm×20m〕