その他 -中古理化学機器と中古計測器の販売とレンタルアイラテック

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・測定波長２００～９５０ｎｍ
・波長分解能（FWHM）＜２ｎｍ
・通信インターフェースＵＳＢ２．０
・測定波長精度±０．７５ｎｍ
・データ解析装置ノート型Ｃ１５１６３－０１
・アナログ出力端子 2チャンネル　0 V～10 V
・電源ＡＣ１００～２４０Ｖ 50/60Hz

※ご利用約款を必ずお読み下さい

半導体製造工程の中でプラズマを使用するエッチング、スパッタ、CVD等において、プロセス中のプラズマ発光を広帯域にリアルタイムで検出する装置です。
各種解析機能により、「エッチングやクリーニングの終点判定条件設定や自動判定」、「プラズマ種推定」、「混入不純物や異常放電の監視」等に利用できます。

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