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・油拡散ポンプ 50L/sec ・油回転ポンプ 20L/min ・到達圧力 7.0×10-4Pa ・吸気口フランジ VG-25(φ90) ・寸法 350W×320D×461H mm ・質量 21kg ・電源 AC100V 50/60Hz ・[別途:991564油回転オイル]必要
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